高精度AMOLED用镂空金属掩膜板

有机发光材料的选择性蒸镀工艺是AMOLED制造的关键工艺步骤和核心技术，通过加热有机发光材料，使其蒸发后通过精密金属掩膜板(Fine Metal Mask, FMM)后选择沉积在像素区域。精密金属掩膜版开口尺寸小,像素精度和热稳定性要求很高，目前制造技术主要被日韩公司掌握，成本很高，国内AMOLED显示器发展受制于国外公司。本项目计划通过自主核心技术和装备条件，实现FMM制造全部工艺流程（光刻、电铸生长、张网、检测标定等）。结合市场和面板开发商的需要，能够对特定设计的开口尺寸和开口排布的精密金属掩模板进行光刻和电铸生产制造，达到产业化应用，突破国外厂商对AMOLED在金属掩膜版上的技术封锁。